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瀚強HQ-MF系列中頻電源,是廣泛應用在太陽能電池制造和真空鍍膜過程中,等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD)鍍膜工藝上的特種電源。輸出有單通道、雙通道等方式,每通道功率可達15kW~60kW,可以輸出多種電壓波形(如方波、階梯波、雙極性脈沖波),滿足不同鍍膜工藝要求。
直流電源HQ-DC系列是用于PVD鍍膜、MOCVD晶體生長、PET銅箔鍍膜及其他銅電鍍的高效率輸出特種電源,輸出功率可達20kW,最高電壓輸出1000V。具有高效卓越的電弧管理與高可靠性,滿足不同鍍膜/晶體生長工藝的要求。
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